新闻晶圆传送盒搬运机器人，晶圆盒转换设备2024/2/5

情非得已

　　PHT菲科半导体。晶圆传送盒搬运机器人  ，晶圆盒转换设备。晶圆搬运机器人一直是行业的佼佼者，在业内好评如潮，备受大众所青睐。

　　设备规格

　　加工材料

　　1．切块框

　　尺寸200mm300mm

　　厚度1.22 ± 0.08mm

　　翘曲0.25mm以下

　　可接触范围背面

　　2．晶圆盒

　　标准卡盒6片盒13片盒

　　框架存储间距15mm

　　3．运行时效

　　节拍时间运输时间180秒／13片以内

　　该设备是一种用标准晶圆盒替换存储在指定盒中的200mm300mm切割框架的系统。

　　使用的晶圆盒有、6片盒13片盒。每个晶圆盒都由操作员提供给站台。

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