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2021年中国工业应用移动机器人
经典案例奖
一、项目基本描述
在芯片需求爆发、国产率不断攀升的趋势下，上游晶圆生产扩大产能、降本增效成为行业普遍诉求。在某全球知名晶圆厂的晶圆无尘车间中，以往由多名工人进行晶圆盒的转运工作，人工操作过程中的效率及稳定性无法满足需求扩张下的产能需求，且人员的流动、岗位调换等因素均为生产节拍的稳定性带来不利影响。晶圆搬运机器人的最新消息欢迎进入网站了解，网站有专业的客服人员进行详细的解答！
对于晶圆生产而言，污染是造成产量损失的主要因素之一。在该车间class 1的环境要求下，员工进入无尘车间需穿戴防护服，但污染风险仍无法有效防控，而晶圆成本高昂，往往造成高昂的成本损失，产品良品率亟待提升。
该厂一直寻求通过物流自动化以提高生产效率，但由于该厂晶圆盒尺寸特殊，市场上难有合适的移动机器人投入协助自动化生产。优艾智合在了解该厂的特殊需求后，派专业技术团队与该厂进行多轮沟通，理解客户诉求，并针对性地打造出一套完整的物流解决方案，解决该厂人工转运效率低等痛点，助力晶圆产能提升。
优艾智合智能物流解决方案，是以多台晶圆盒搬运机器人为基础，搭载YOUI Pilot导航系统、YOUI Fleet机器人调度系统以及YOUI TMS场内物流管理系统，形成一体化的晶圆物流自动化解决方案。晶圆盒搬运机器人满足Class 1级别车间环境要求，应用高精度激光SLAM导航自主移动避障，同时舵轮底盘使机器人能够横向移动，更加灵活地完成搬运任务。机器人搭载导航及调度管理系统，自主识别车间场景，并进行多机协同配合，YOUI TMS智能物流管理系统根据MES等企业信息系统进行物流自主调度，打通工厂内晶圆流转过程中的物质流与数据流，通过实时反馈生产数据，实现了数字化智能管理。
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二、项目创新性
1.技术难点
① 视觉定位精度要求±1mm。
② 高频次转运需求对节拍要求严苛，人工一次只能搬一个晶圆盒，8寸晶圆盒搬运机器人一次最多可搬运8个晶圆盒。
③ 震动容易对晶圆产生裂纹，晶圆搬运过程对震动要求极其严格，晶圆盒搬运机器人在作业时稳定运输状态振动均值远小于 0.1G。
2. 创新点
① 市面普遍机器人最多设有4储位，部分工艺晶圆流转需求达到6个SMIF Pod，无法满足工艺需求，OW8晶圆盒搬运机器人拥有目前业界最多的储位，设有8储位以及料位智能化管理，满足所有工艺晶圆流转需求。
② 可取放240-2500mm，目前业界最高晶圆盒上下料作业高度和最低作业高度优势，提高FAB的空间利用率。
③ 人工维修高架地板会产生坑洞，晶圆盒搬运机器人自带检测坑洼的传感器，防止跌入。
④ 打通不同工艺流程之间物质流和信息流，生产物流数据全流程可追溯，实现车间生产可视化和生产过程运营管控。
三、行业影响力
通过优艾智合的晶圆智能物流解决方案，在实现晶圆盒的无人化转运和精准上下料的同时，减小无尘车间污染带来的风险，提升良品率，降低50%震动所致晶圆破裂风险，避免人工搬运带来的损坏问题；减少操作员30%无效行走；移动机器人上下料作业高度覆盖0.3-2.5米，提高电子料架利用率66%，整厂实现了2%的效率提升。
4月13日，中国移动机器人（AGV/AMR）产业联盟将于深圳举办”第十一届中国（深圳）工业物流与仓储智能化发展工程大会暨华南工业应用移动机器人推进大会“，除系列精彩演讲外，会上还将正式发布《2021-2022年中国移动机器人（AGV/AMR)产业发展报告》，敬请期待！
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发表于 2024-2-4 10:50:35
